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IC裝備
 
劃片機 
   

沈陽儀表科學研究院研製的全自動12英寸劃片機融合精密機械、電子、軟件、材料、自控、光電、元器件等多學科技術為一體,屬於高新技術範疇。廣泛應用在IC、傳感器、LED、太陽能電池基片、醫用“B超”換能頭、萬人二八杠下載元器件、NTC等產業,用於矽片、玻璃、氧化鋁、铌酸鋰、砷化镓、鐵氧體等脆硬材料的劃槽和切割加工。設備加工尺寸從8英寸提高到12英寸,加工速度從600mm/s提高到1000mm/s,定位精度從5μm/210mm提高到5μm/310mm,技術指標全麵達到國際先進水平,有效地提高了國內IC裝備的技術水平、自主創新能力、產業化能力。

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自動探針台
 
    
    
 
  

    自動探針台采用整體箱式結構,封閉式設計,其主體主要分為四大部分:電氣控製係統,機械運動係統,操作係統,顯示係統。

    該設備是高速、高精度、高壓型探針機型,主要適用於半導體分立元件,光電元件的高壓測試,可遮光測試,具有MAP顯示功能。它與測試儀連接後,能自動完成對各種晶體管芯的電參數測試及功能測試。專為半導體生產廠設計的用於半導體芯片封裝前晶圓測試的生產設備。與相應的測試儀進行訊號通訊就可以組成一套完整的測試係統。

 

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真空靜電封接機

    
    

在真空或大氣狀態下,通過施加一浮動壓力,在溫度及電場的作用下,完成矽-玻璃、玻璃-矽-玻璃的單層或“三明治”形式靜電封接,實現矽芯片與玻璃的無應力鍵合。滿足MSMS技術對無應力封裝的需求。滿足4英寸以下全部MEMS技術下的靜電封接需求。PLC+PID智能控製。

 

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